SF6氣體檢漏儀的靈敏度、反應時間及恢復時間是鹵素檢漏儀的主要性能參數，其測試方法與氦質譜檢漏儀的相同。但是，SF6氣體檢漏儀的指示與氣體的濃度有關：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當濃度很高時儀器出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進行性能測試或檢漏時，進進傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。使離子在進進第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，固然可以通過*個分析器，但是，經第二次加速進進第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲明顯地減小，進步了儀器靈敏度。

    SF6氣體檢漏儀的工作方式是電源帶動氣泵對待測區(qū)域的氣體進行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進行檢測。分析儀的特點是檢測速度快，對現(xiàn)對危險的區(qū)域可進行遠距離測量，維護人員安全，其它和氣體檢測儀一樣。在工業(yè)裝置上和生產過程中使用較多的檢測儀。記錄儀它可以安裝在特定的檢測點上對特定的氣體泄漏進行檢測。固定式檢測器一般為兩體式，有傳感器和變送器組成的檢測頭為一體，安裝在檢測現(xiàn)場，有電路、電源和顯示報警裝置組成的二次儀表為一體安裝在安全場所，這樣便于監(jiān)視。 漏點預定位是指聽漏棒、電子聽漏儀及噪聲自動記錄儀來探測供水管道漏水的方法，根據使用SF6氣體檢漏儀的不同，預定位技術主要有閥栓聽音法和噪聲自動監(jiān)測法。特別適用于環(huán)境干擾噪聲大、管道埋設太深或不適宜用地面聽漏法的區(qū)域，用相關儀可快速準確地測出地下管道漏水點的*位置。